第四十六章 半导体传感器

“新项目是半导体传感器！”

“半导体传感器？”新的名词，吸引了王立国的好奇心。

汉语的一大优势就是组词。两个完全不想干的单词，合并在一起，自然而然的就形成了一个新的词汇！而且听到的人居然能听懂，即使他这是第一次见到这个词！

而英语则不然，每个新词，都需要双方反复沟通。更为奇怪的是，很多新的计量单位，科学公式等，都习惯以发现人的名字来命名，例如一牛顿，一夸克！

这就形成了一个巨大的技术障碍，每个专业或者细分领域的科学工作者，都在使用着自己的黑话，而外人完全听不懂！

“实际上就是微型电子机械系统传感器，英文名是MEMS。今年，加州大学伯克利分校，用硅片刻蚀工艺开发出静电直线微电机和旋转微电机，就是基于这个技术。”

这个半导体工艺制造的微马达，一出现，就轰动了世界。在89年，这是与超导差不多是同级别的科学事件。提起这个例子，王教授终于明白成永兴讲的是什么了。

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半导体传感器，并不是MEMS的准确翻译。MEMS 覆盖面更广！

MEMS就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型机电产品，但是这时候，还没有人准备把它应用于检测。

这个技术，大家也有所耳闻。但是由于技术太新，这些搞测量的认为，这个技术想要有实际的应用价值，至少还需要十年时间。

MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro - Eleeical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。

MEMS是用传统的半导体工艺和材料，以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术，学科交叉现象极其明显，主要涉及微加工技术，机械学/固体声波理论，热流理论，电子学、材料、物理学、化学、等等

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